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中微公司2025年第一季度业绩表现亮眼，营业收入达到21.73亿元，同比增长35.40%，研发投入高达6.87亿元，同比增长90.53%，占营业收入比例达31.60%，远超科创板平均水平。公司刻蚀设备在国内外市场持续获得认可，针对先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。此外，公司为先进存储和逻辑器件开发的六种薄膜设备已进入市场，EPI设备完成多家先进逻辑器件与MIM器件客户的工艺验证，并获得高度认可。公司加大研发力度，在研项目涵盖六大类，超过二十款新设备，研发速度显著加快，有望在未来几年推出更多新产品。归属于上市公司股东的净利润为3.13亿元，同比增长25.67%，主要得益于营业收入增长和政府补助增加。
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